近日,博视像元成功完成半导体客户定制的有图暗场检测的深紫外CPC相机交付,标志着我国在半导体影像核心零部件取得重要突破。该产品凭借卓越的技术性能和创新设计,达到国内一流、世界领先的技术水平。
突破技术瓶颈 填补国内空白
在半导体制造领域,有图暗场设备是FAB工艺管控的核心设备,对提升芯片良率和产品质量起着至关重要的作用。此款DUV CPC相机采用独特的设计和成像原理,并结合真空腔体密闭设计,搭配水冷或气冷温控控制,高速采集同时能确保成像性能的灵敏度和稳定性,能够高速精准捕捉晶圆表面的微小缺陷,这是国内第一款真正意义上的暗场检测的深紫外CPC相机。长期以来,暗场CPC相机被国外厂商垄断和禁售,面临"卡脖子"困境。博视像元此次成功交付的深紫外CPC相机,打破了国外技术垄断,实现国产0-1的突破。
严格测试验证 性能全面达标
该款DUV CPC相机已顺利通过严格的EMVA 1288协议测试和客户测试用例,在性能指标方面,分辨率、信噪比、动态范围等核心参数均达到或超过客户预期;在功能指标方面,相机的稳定性、可靠性和易用性也得到客户的高度认可。博视像元在电路和结构设计、传感器优化、信号处理等多个技术环节进行了深度创新,确保产品在各种复杂工况下都能保持优异性能。整个项目按计划推进,如期完成交付,充分体现了公司强大的技术实力和项目管理能力。
产业意义深远 助力半导体自主可控
博视像元此次成功交付的暗场CPC相机,对推动我国半导体检测设备国产化具有重要意义。不仅能够满足国内半导体装备企业的迫切需求,降低对进口设备的依赖,还有望在国际市场上参与竞争。
随着我国半导体产业的快速发展,对高端国产影像部件的需求日益增长。博视像元将继续加大研发投入,不断提升产品性能,为我国半导体产业链的自主可控贡献力量。
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